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1958年美商德州儀器公司的科學家Jack Kilby製作出全球第一顆「積體電路(IC:Integrated Circuit)」,造就了半個世紀以來電子產業的篷勃發展,到了1990年代,開始有科學家把機械元件與光學元件,整合積體電路製作成單一晶片,稱為「微機電系統(MEMS:Micro Electro Mechanical Systems)」,最近由於人機介面(HMI:Human Machine Interface)的發展,微機電系統(MEMS)扮演愈來愈重要的角色,包括微加速度計、微陀螺儀、微地磁計、微機電系統麥克風、微機電系統射頻等,成為新興的科技產業,後來進入2000年代,微製造產業突飛猛進,尺寸愈來愈小,才發展出「奈米科技(Nanotechnology)」,本書將由淺入深介紹積體電路、微機電系統、奈米科技等相關的技術原理與發展趨勢。

商品訊息簡述:

  • 出版社:全華圖書

    新功能介紹

  • 出版日期:2013/10/29
  • 語言:繁體中文

積體電路與微機電產業-

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